GB/T 12964-2018
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硅单晶抛光片

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基本属性

标准状态：

现行

标准组织：

国家标准

发布时间：

2018-09-17

归口单位：

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

中国标准分类：

国际标准分类：

起草单位

暂无

起草人信息

暂无

标准历程

发布于

实施于

废止于

适用范围

最新GB/T 12964-2018标准解读；本标准规定了硅单晶拋光片（简称硅抛光片）的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同）内容。本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂）制备的直径不大于200 mm的硅单晶拋光片。产品主要用于制作集成电路、分立元件、功率器件等，或作为硅外延片的衬底。

关联标准

暂无

修改单

暂无

标引依据

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