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GB/T 34898-2017
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微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
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基本信息
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归口信息
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基本属性
标准状态：
现行
标准组织：
国家标准
发布时间：
2017-11-01
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会
中国标准分类：
L电子元器件与信息技术
L55/59微电路
L55微集成电路综合
国际标准分类：
31电子学
31.200集成电路、微电子学
起草单位
暂无
起草人信息
暂无
标准历程
发布于
实施于
废止于
适用范围
最新GB/T 34898-2017标准解读；本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件)非线性振动特性参数的 测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。
关联标准
暂无
修改单
暂无
标引依据
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