GB/T 4061-2009
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硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

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归口信息

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基本属性

标准状态：

现行

标准组织：

国家标准

发布时间：

2009-10-30

归口单位：

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

中国标准分类：

H80/84半金属与半导体材料

H80半金属与半导体材料综合

国际标准分类：

29.045半导体材料

起草单位

暂无

起草人信息

暂无

标准历程

发布于

实施于

废止于

适用范围

最新GB/T 4061-2009标准解读；本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学

关联标准

暂无

修改单

暂无

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