GB/T 14603-2009
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电子工业用气体三氟化硼

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基本属性

标准状态：

现行

标准组织：

国家标准

发布时间：

2009-10-30

归口单位：

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

中国标准分类：

国际标准分类：

起草单位

暂无

起草人信息

暂无

标准历程

发布于

实施于

废止于

适用范围

最新GB/T 14603-2009标准解读；本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法，检验规则、包装，标志、贮运及安全要求。本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼，主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注人和掺杂分子式卫玲。相对分子质量：67・805（按2005年国际相对原子质量计算r

关联标准

暂无

修改单

暂无

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GB/T 14603-2009 | 电子工业用气体 三氟化硼

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