会员
登录
定制专题
GB/T 14603-2009
|
电子工业用气体 三氟化硼
页数:0
我要纠错
预览
题录对比
我要纠错反馈表
X
基本信息
关联图谱
章节目录
归口信息
相关推荐
基本属性
标准状态:
现行
标准组织:
国家标准
发布时间:
2009-10-30
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
中国标准分类:
G化工
G85/89其他化工产品
G86工业气体与化学气体
国际标准分类:
71化工技术
71.100化工产品
71.100.20工业气体
起草单位
暂无
起草人信息
暂无
标准历程
发布于
实施于
废止于
适用范围
最新GB/T 14603-2009标准解读;本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法,检验规则、包装,标志、贮运及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以 氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼,主要用于半导体器件和集成电路生产的离 子注人和掺杂 分子式卫玲。 相对分子质量:67・805(按2005年国际相对原子质量计算r
关联标准
暂无
修改单
暂无
标引依据
推荐使用
谷歌浏览器
进行下载。确认下载后,若未跳转到下载页面或未直接弹出下载提示,说明跳转页面被浏览器拦截(如下图所示),请点“始终允此网站的弹出窗口”,再重新下载!
继续下载
取消
暂无内容
共有
0
条数据,
查看更多>>
共有
0
条数据,
查看更多>>
检测机构
(0)
企业
(0)
暂无内容
暂无内容
热搜列表
热搜列表
没有更多数据了